硅烷
用硅烷为原料,可以采用流化床技术生产多晶硅,这是一种最吸引人的技术,可以大大的降低生产多晶硅的能耗,廉价硅烷的获得是开发该项技术的根本保证。
一、产品简介
中文名:硅烷、四氢化硅、甲硅烷、甲矽烷,
英文名称:Silane
分子式SiH4,分子量32.12。
理化性质:
常温常压下SiH4是一种无色、有窒息性气味的易燃和可压缩的气体。
在101.3kPa下沸点-112℃,熔点-184.7℃,标准状态下气体密度1.44kg/m3,临界温度-3.4℃,临界压力4.842MPa,临界密度247kg/m3,SiH4在水中溶解度可忽略,也不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿等有机溶剂。
SiH4在空气中极易自燃,在空气中的爆炸限为0.8%~98%,在室温下可与卤素或重金属卤化物剧烈反应。SiH4加热到350℃开始分解为无定形硅和氢气,600℃以上分解生成晶体硅。
用途:硅烷广泛用于微电子、光电子工业,用于制造太阳能电池、平板显示器,近年硅烷的高科技应用还在不断涌现,包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。随着一系列新技术的出现,或者说利用硅烷开发新产品的成功,硅烷用量急剧增加。
市场容量:硅烷主要用于半导体行业、液晶LCD(中底端的液晶显示屏,早期在笔记本计算机使用,现在大量用在手机MP3~MP4等电子产品上)和光伏行业。2015年全球硅烷消耗量约8000吨,预计2020年的消耗量将增加到约20000吨,中国的用量占全球一半以上。
技术和工艺原理
整个生产划分为三部分:硅粉气化部分、蒸馏部分和歧化反应部分(硅烷反应)。
硅粉气化部分是将硅粉引入反应器与氢气、四氯化硅气体进行气固相反应,反应产物经除尘后,与进料换热、冷却、冷凝,收集未反应的四氯化硅和反应生成的三氯氢硅和杂质,达到与氢气分离的目的,氢气循环使用。
蒸馏部分是将得到的凝液采用蒸馏的方法,分出三氯氢硅供歧化反应用,分离得到的四氯化硅返回到硅粉气化部分。同时在此处除掉杂质。
歧化部分是使三氯氢硅进行歧化反应得到目的产物硅烷,并将其精制最终得到产品。反应得到的四氯化硅返回到前面的硅粉气化部分。
化学方程式:
用四氯化硅和氢气使硅粉进行气化反应制取三氯氢硅:
Si+ 2H2 + 3SiCl4---------4HSiCl3
三氯氢硅经过歧化反应制取硅烷:
2HSiCl3-----SiCl4 + H2SiCl2
2H2SiCl2------ HSiCl3 + H3SiCl
2H3SiCl-------SiH4 + H2SiCl2
每级歧化的重产物返回到上一级歧化反应
因此歧化反应的总反应式
4HSiCl3----- SiH4 + 3SiCl4
生成的四氯化硅返回到硅粉气化工序。
因此全部过程的总反应式为:
Si + 2H2------SiH4
反应方框图
吨产品原材料与公用工程消耗量:
本项目所需原料有四氯化硅(STC),氢气H2及冶金级硅(MGS),所需原料用量及来源如下表:
主要原料消耗定额(年耗量) |
||||
编号 |
名称 |
化学式 |
年用量(吨) |
来源 |
1 |
冶金级硅(98%以上) |
Si |
1600 |
国内 |
2 |
氢气(99.999%以上) |
H2 |
252×104 m3 |
国内 |
3 |
四氯化硅(99.9999%以上) |
SiCl4 |
1050 |
韩国、国内 |
4 |
氨气 |
NH3 |
20 |
|
主要公用工程消耗定额
主要公用工程包括蒸汽、循环水、压缩空气、氮气、电等。其中蒸汽可利用工业区的蒸汽管网。
主要公用工程消耗定额(年耗量) |
||||
序号 |
名称 |
规 格 |
单位 |
消耗定额 |
1 |
电 |
380V/220V 50HZ |
kWh |
3200×104 |
2 |
水 |
2.5 barg. |
t |
365000 |
3 |
天然气 |
8500大卡/立方米 |
万Nm3/a |
8 |
4 |
蒸汽 |
1.05MPa |
万吨/年 |
20 |
5 |
氮气 |
99.999%以上 |
吨/年 |
16600 |
6 |
氩气 |
99.999%以上 |
吨/年 |
120 |
7 |
氦气 |
99.9995%以上 |
Nm3/a |
16320 |
产品指标
产品方案一览表表
序号 |
产品名称 |
单位 |
生产规模 |
备注 |
1 |
硅烷 SiH4 |
t/a |
1200 |
纯度大于99.9999%(6N) |
2 |
三氯硅烷TCS SiHCl3 |
t/a |
600 |
纯度大于99.99% |
3 |
二氯硅烷DCS SiH2Cl2 |
t/a |
400 |
纯度大于99.99% |
4 |
氯硅烷MCS SiH3Cl |
t/a |
40 |
纯度大于99.99% 共产出100吨,其中60吨为丙硅氮原料 |
5 |
丙硅氮 (SiH3)3N |
t/a |
20 |
其原料为氯硅烷60吨 |
6 |
乙硅烷 Si2H6 |
t/a |
20 |
纯度大于99.99% |
鼎盛公司的技术优势
1、生产工艺优化,生产过程安全可靠,单耗低。
2、生产控制自动化程度高。